621.3 М 80 Моряков, Олегепргеевич. Термические процессы в микроэлектронике : учеб. для ССУЗов / О. С. Моряков. - 3-е изд.,перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1987. - 200 с. - (Профессионально-техническое образование). - 0.40 р. - Текст : непосредственный.
Кл.слова (ненормированные): Процессы технологические -- Микросхемы -- Установки вакуумные -- Сварка -- Автоматизация процессов -- Измерительные приборы Экземпляры всего: 5 УА (5) Свободны: УА (5) Количество выдач: 0000000 |