621 П 80 Производство тонкопленочных структур в электронном машиностроении : в 2-х т.: учеб. для ВУЗов / ред.: Н. В. Василенко, А. Н. Тихонов. - М. : Машиностроение. - Текст : непосредственный. Т.2, Гл. 5-7. - ). - ISBN 5-98027-038-8 : 150.00 р.
Доп.точки доступа: Василенко, Николай Васильевич (профессор) \ред.\; Тихонов, А.Н. (профессор) \ред.\; Красноярский филиал Иркутского государственного университета путей сообщения; Федеральное государственное учреждение Государственный научно-исследовательский институт информационных технологий и телекоммуникацийНаучно-исследовательский институт систем управления, волновых процессов и технологий Экземпляры всего: 1 ДХ (1) Свободны: ДХ (1) Количество выдач: 0000000 |