621
   П 80


    Производство тонкопленочных структур в электронном машиностроении : в 2-х т.: учеб. для ВУЗов / ред.: Н. В. Василенко, А. Н. Тихонов. - М. : Машиностроение. - Текст : непосредственный.
   Т.1, Гл. 1-4. - ). - ISBN 5-98027-038-8 : 150.00 р.

ГРНТИ
УДК



Доп.точки доступа:
Василенко, Николай Васильевич (профессор) \ред.\; Тихонов, А.Н. (профессор) \ред.\; Красноярский филиал Иркутского государственного университета путей сообщения; Федеральное государственное учреждение Государственный научно-исследовательский институт информационных технологий и телекоммуникацийНаучно-исследовательский институт систем управления, волновых процессов и технологий
Экземпляры всего: 1
ДХ (1)
Свободны: ДХ (1)
Количество выдач: 0000000